中国·ok138太阳集团(股份)有限公司-官方网站

ok138太阳集团

免费热线:+86-400 882 8982 中文 ENG

为什么晶圆都是圆的不是方的??

免费热线+86-400 882 8982

为什么晶圆不是方的?? 。是啊,,,圆形的wafer里面方形的Die,,,总是不成预防有些空间浪费了?

2017-11-02_095441.png

由于制作工艺决定了它是圆形的。由于提纯过后的高纯度多晶硅是在一个子晶(seed)上旋转成长出来的。多晶被消融后放入一个坩埚(Quartz Crucible)中,,,再将子晶放入坩埚中匀速动弹并且向上提拉,,,则熔融的硅会沿着子晶向长成一个圆柱体的硅锭(ingot) 。这种步骤就是此刻一向在用的CZ法(Czochralski),,,也叫单晶直拉法。

而后硅锭在经过金刚线切割造成硅片:::

2017-11-02_095042.png


在经过打磨等等处置后就能够进行后续的工序了(CPU制作的那些事之一:::i7和i5其实是孪生兄弟。?)单晶直拉法工艺中的旋转提拉决定了硅锭的圆柱型,,,从而决定晶圆是圆形的。


为什么后来又不圆了呢??

那为啥后来又不圆了呢??其实这个中央有个过程掠过了,,,那就是Flat/Notch Grinning。

2017-11-02_095204.png


它在锭做出来后就要进行了。在200mm以下的硅锭上是切割一个平角,,,叫做Flat。在200mm(含)以上硅锭上,,,为了削减浪费,,,只裁剪个圆形小口,,,叫做Notch(参考资料2)。在切片后晶圆就造成了这样:::


2017-11-02_095009.png

若是你仔细看我,,,你也会发现它其实是出缺一个小豁口的。

为什么要这样做呢??这不是浪费吗??其实,,,这个小豁口由于太靠近边缘并且很小,,,在制作Die时是注定没有效的,,,这样做能够援手后续工序确定Wafer摆放地位,,,为了定位,,,也标了然单晶成长的晶向。定位设备可所以这样:::这样切割啊,,,测试啊都比力方便。

2017-11-02_095247.png

结论


严格意思上所有的Wafer都不是圆形的。若是忽略Flat/Notch这些小问题,,,那它的圆形是工艺决定的。




(文章起源:EDN 电子技术设计 )


新时期,,,新技术层出不穷,,,我们关注,,,学习,,,但愿在将来可能与时俱进,,,启发创新。


标签:   晶圆  Wafer
【网站地图】